干式无油螺杆真空泵致动的泵腔无油无水，不会污染真空室或萃取介质。此外，支持设施很少，可以直接排放到大气中。短期购买投资成本要高于传统真空泵，但无油的后续使用和维护成本要低得多，而且时间越长，后期的成本差异就越明显。----

干式无油螺杆真空泵是一种干燥的非接触式恒螺距螺杆真空泵。两个螺钉准确地动态平衡并由轴承支撑。该设备在泵壳内。螺钉之间有的间隙。泵的运行稳定，没有碰撞，并且工作室中没有介质。因此，干式无油螺杆真空泵是一种节能的真空泵，可以排出含有大量可冷凝气体和粉尘的气体。它比油封机械真空泵，液封真空泵，往复式真空泵和其他类型的真空泵更适合。

u9彩票799cc一， 干式螺杆真空泵选型

1、干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的气体量。

2、每种泵都有的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、的限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的限压力低于工艺要求约一个数量级。

u9彩票799cc干式真空泵是未来行业发展的趋势，今天，我们已进入干式真空泵时代，同过去旋片和活塞油式真空泵时代相比，一个受过良好培训的消费者在真空泵的选择上起着举足轻重的作用。要知道，有如此多类型的干式泵可供选择，而选一个能和您的半导体工艺相匹配的类型是关键所在。